Proben, die nicht im Anschluss einer REM-EDX Messung Raman spektroskopisch untersucht werden sollen, können mit Kohlenstoff bedampft und auch im Hochvakuum gemesssen werden. Grundsätzlich kann durch den VP Modus am REM auf eine Bedampfung verzichtet werden, wenn ohne SE-Detektor gearbeitet und keine Hochauflösung benötigt wird. Für REM-EDX ist die Bedampfund mit Kohlenstoff üblich, für die REM Fotodokumentation ist Gold zu empfehlen.
Zur Kohlenstoff-Bedampfung kann entweder der Emitech K450x (rechts) oder Edwards ScanCoat Carbon verwendet werden.